The large angle oblique illumination in IIL is an extension of OAI.
成像干涉光刻技术(IIL)利用多次曝光分别记录物体空间频率的不同部分,极大地提高了成像质量,其中大角度倾斜照明是对OAI的扩展。
本站部份资料来自网络或由网友提供,如有问题请速与我们联系,我们将立即处理!
Copyright © 2013-2024 杭州优配网络科技有限公司 All Rights Reserved 浙ICP备20019715号
免责声明:本站非营利性站点,以方便网友为主,仅供学习。合作/投诉联系QQ:1553292129