diffused channel waveguide

The results show that Si is the fastest diffusion species among the three elements during the reaction, the diffusion path is TiSi 2→TiSi→Ti 5Si 4→Ti 5Si 3→Ti 3Si→Beta, TiSi 2→TiSi→Ti 5Si 4→Beta, NbSi 2→Nb 5Si 3→Beta, NbSi 2→Nb 5Si 3→Beta for Nb 80%.

研究结果表明 :Si是Nb Ti/Si界面反应中扩散最快的元素 ;Nb 80 %Ti/Si,Nb 60 %Ti/Si,Nb 40 %Ti/Si,Nb 2 0 %Ti/Si扩散偶的扩散通道分别为TiSi2 →TiSi→Ti5Si4 →Ti5Si3→Ti3Si→Be ta ,TiSi2 →TiSi→Ti5Si4 →Beta ,NbSi2 →Nb5Si3→Beta ,NbSi2 →Nb5Si3→Beta ;此外 ,将这些扩散通道叠加到Nb Ti Si于1 373K时的等温截面上 ,可以看出不同成分的Nb Ti合金与Si扩散时中间化合物的形成序列 。